Reactive MD-force field: Si/SiO/SiN interactions March 9 2006 -reparameterized May 9, 2012 39 ! Number of general parameters 50.0000 !Overcoordination parameter 9.4514 !Overcoordination parameter 56.6636 !Valency angle conjugation parameter 3.0000 !Triple bond stabilisation parameter 6.5000 !Triple bond stabilisation parameter 0.0000 !C2-correction 1.0701 !Undercoordination parameter 9.0000 !Triple bond stabilisation parameter 11.9083 !Undercoordination parameter 13.3822 !Undercoordination parameter 0.0000 !Triple bond stabilization energy 0.0000 !Lower Taper-radius 10.0000 !Upper Taper-radius 2.8793 !Not used 33.8667 !Valency undercoordination 5.8971 !Valency angle/lone pair parameter 1.0563 !Valency angle 2.0384 !Valency angle parameter 6.1431 !Not used 6.9290 !Double bond/angle parameter 0.3989 !Double bond/angle parameter: overcoord 3.9954 !Double bond/angle parameter: overcoord -2.4837 !Not used 5.8374 !Torsion/BO parameter 10.0000 !Torsion overcoordination 1.8820 !Torsion overcoordination -1.2327 !Conjugation 0 (not used) 2.1861 !Conjugation 1.5591 !vdWaals shielding 0.0100 !Cutoff for bond order (*100) 0.7151 !Valency angle conjugation parameter 2.7425 !Overcoordination parameter 12.5819 !Overcoordination parameter 2.1533 !Valency/lone pair parameter 0.5000 !Not used 20.0000 !Not used 5.0000 !Molecular energy (not used) 0.0000 !Molecular energy (not used) 1.4155 !Valency angle conjugation parameter 7 ! Nr of atoms; cov.r; valency;a.m;Rvdw;Evdw;gammaEEM;cov.r2;# alfa;gammavdW;valency;Eunder;Eover;chiEEM;etaEEM;n.u. cov r3;Elp;Heat inc.;n.u.;n.u.;n.u.;n.u. ov/un;val1;n.u.;val3,vval4 C 1.3646 4.0000 12.0000 1.9823 0.1749 0.8712 1.2394 4.0000 9.4606 2.1346 4.0000 31.0823 79.5548 5.7254 6.9235 0.0000 1.2611 0.0000 175.5192 5.7419 33.3951 11.9957 0.8563 0.0000 -2.8983 4.8298 1.0564 4.0000 2.9663 0.0000 0.0000 0.0000 H 0.6867 1.0000 1.0080 1.3525 0.0616 0.8117 -0.1000 1.0000 9.3858 5.0013 1.0000 0.0000 121.1250 4.7658 7.6036 1.0000 -0.1000 0.0000 59.5599 3.7224 3.0794 0.4935 1.0698 0.0000 -15.7683 2.1504 1.0338 1.0000 2.8793 0.0000 0.0000 0.0000 O 1.2375 2.0000 15.9990 1.4094 0.1937 0.9434 1.0838 6.0000 10.5025 7.7719 4.0000 35.0000 116.0768 8.5000 8.5000 2.0000 0.9909 20.0000 68.6129 42.5068 1.4404 0.0713 0.9745 0.0000 -3.5965 2.5000 1.0493 4.0000 2.9225 0.0000 0.0000 0.0000 N 1.2360 3.0000 14.0000 1.9333 0.1373 0.8596 1.1602 5.0000 10.0725 8.0467 4.0000 34.5504 100.0000 6.8418 6.3404 2.0000 1.0365 14.7406 128.0000 2.5032 2.7335 2.6432 0.9745 0.0000 -15.0000 2.6491 1.0183 6.2998 2.8793 0.0000 0.0000 0.0000 S 1.9647 2.0000 32.0600 2.0783 0.2176 1.0336 1.5386 6.0000 9.9676 5.0812 4.0000 35.1648 112.1416 6.5000 8.2545 2.0000 1.4703 9.4922 -2.3700 8.5146 28.0801 8.5010 0.9745 0.0000 -10.0773 2.7466 1.0338 6.2998 2.8793 0.0000 0.0000 0.0000 Si 2.0175 4.0000 28.0600 2.0473 0.1835 0.9645 1.2962 4.0000 12.3588 1.2523 4.0000 28.1361 139.9309 4.3999 6.8567 0.0000 -1.0000 0.0000 128.2031 15.3520 20.0000 0.1000 0.8563 0.0000 -4.1989 2.1607 1.0338 4.0000 2.5791 0.0000 0.0000 0.0000 X -0.1000 2.0000 1.0080 2.0000 0.0000 1.0000 -0.1000 6.0000 10.0000 2.5000 4.0000 0.0000 0.0000 8.5000 1.5000 0.0000 -0.1000 0.0000 127.6226 8.7410 13.3640 0.6690 0.9745 0.0000 -11.0000 2.7466 1.0338 6.2998 2.8793 0.0000 0.0000 0.0000 20 ! Nr of bonds; Edis1;LPpen;n.u.;pbe1;pbo5;13corr;pbo6 pbe2;pbo3;pbo4;n.u.;pbo1;pbo2;ovcorr 1 1 139.8945 110.0172 74.5271 0.2734 -0.7534 1.0000 37.8463 0.3294 0.1234 -0.2010 8.7028 1.0000 -0.1042 6.1777 1.0000 0.0000 1 2 159.8583 0.0000 0.0000 -0.4643 0.0000 1.0000 6.0000 0.6151 12.3710 1.0000 0.0000 1.0000 -0.0098 8.5980 0.0000 0.0000 2 2 169.8421 0.0000 0.0000 -0.3591 0.0000 1.0000 6.0000 0.7503 9.3119 1.0000 0.0000 1.0000 -0.0169 5.9406 0.0000 0.0000 1 3 164.3580 110.8547 75.2903 -0.2241 -0.2655 1.0000 17.5764 0.3918 0.6762 -0.2674 7.0000 1.0000 -0.1928 4.9057 0.0000 0.0000 3 3 118.9109 187.5315 40.0000 0.8616 -0.1310 1.0000 22.4756 0.4691 0.1658 -0.5000 7.0417 1.0000 -0.2459 4.5000 1.0000 0.0000 1 4 130.0907 150.2899 77.1933 0.0110 -0.1350 1.0000 35.0000 0.2000 0.0223 -0.3309 7.0031 1.0000 -0.1321 5.3137 1.0000 0.0000 3 4 111.0581 178.7844 40.0000 0.6300 -0.1303 1.0000 33.4770 0.2000 1.0000 -0.2991 7.0188 1.0000 -0.1104 7.0000 1.0000 0.0000 4 4 155.7245 88.9179 150.6715 0.2142 -0.1134 1.0000 13.2036 0.5357 0.0966 -0.1735 11.4265 1.0000 -0.0824 5.2606 1.0000 0.0000 2 3 207.7908 0.0000 0.0000 -0.8770 0.0000 1.0000 6.0000 0.4021 1.1523 1.0000 0.0000 0.0000 -0.0570 5.3078 0.0000 0.0000 2 4 227.3496 0.0000 0.0000 -0.4298 0.0000 1.0000 6.0000 0.6426 9.5520 1.0000 0.0000 1.0000 -0.0618 5.8937 0.0000 0.0000 1 5 128.7959 56.4134 39.0716 0.0688 -0.4463 1.0000 31.1766 0.4530 0.1955 -0.3587 6.2148 1.0000 -0.0770 6.6386 1.0000 0.0000 2 5 128.6090 0.0000 0.0000 -0.5555 0.0000 1.0000 6.0000 0.4721 10.8735 1.0000 0.0000 1.0000 -0.0242 9.1937 1.0000 0.0000 3 5 0.0000 0.0000 0.0000 0.5563 -0.4038 1.0000 49.5611 0.6000 0.4259 -0.4577 12.7569 1.0000 -0.1100 7.1145 1.0000 0.0000 4 5 0.0000 0.0000 0.0000 0.4438 -0.2034 1.0000 40.3399 0.6000 0.3296 -0.3153 9.1227 1.0000 -0.1805 5.6864 1.0000 0.0000 5 5 96.1871 93.7006 68.6860 0.0955 -0.4781 1.0000 17.8574 0.6000 0.2723 -0.2373 9.7875 1.0000 -0.0950 6.4757 1.0000 0.0000 1 6 108.3910 95.0233 0.0000 0.1129 -0.5558 1.0000 17.2117 0.4568 0.2424 -0.2378 10.1163 1.0000 -0.1020 5.7156 1.0000 0.0000 2 6 194.0543 0.0000 0.0000 -0.1224 0.0000 1.0000 6.0000 0.6212 20.8656 1.0000 0.0000 1.0000 -0.0739 7.3594 0.0000 0.0000 3 6 283.2975 26.6174 0.0000 -0.4868 -0.3000 1.0000 36.0000 0.4687 6.3749 -0.4837 29.5369 1.0000 -0.1499 6.4344 1.0000 0.0000 4 6 119.7136 41.2405 43.3991 -0.2060 -0.3000 1.0000 36.0000 0.7957 0.8189 -0.2614 9.4060 1.0000 -0.1245 6.1856 1.0000 0.0000 6 6 78.0276 54.0531 30.0000 0.5398 -0.3000 1.0000 16.0000 0.0476 0.2865 -0.8055 7.1248 1.0000 -0.0681 8.6957 0.0000 0.0000 12 ! Nr of off-diagonal terms; Ediss;Ro;gamma;rsigma;rpi;rpi2 1 2 0.0431 1.7204 10.3632 1.0386 -1.0000 -1.0000 2 3 0.0422 1.8000 10.3041 0.8950 -1.0000 -1.0000 2 4 0.0447 1.7658 10.5623 0.9943 -1.0000 -1.0000 1 3 0.1054 2.2277 9.1554 1.3387 1.1560 1.1124 1 4 0.1438 1.8334 9.8853 1.3605 1.1887 1.1379 3 4 0.1025 2.0091 10.0431 1.3100 1.1108 1.0173 1 6 0.0541 2.0811 13.5179 1.7778 1.5840 -1.0000 2 6 0.0501 1.6960 13.3505 1.2852 -1.0000 -1.0000 3 6 0.1525 2.2000 10.1112 1.7410 1.3739 -1.0000 4 6 0.1297 1.9384 10.9856 1.6175 1.4045 -1.0000 1 5 0.1408 1.8161 9.9393 1.7986 1.3021 1.4031 2 5 0.0895 1.6239 10.0104 1.4640 -1.0000 -1.0000 85 ! Nr of angles;at1;at2;at3;Thetao,o;ka;kb;pv1;pv2;val(bo) 1 1 1 75.8304 33.9168 0.8043 0.0000 0.1780 10.5736 1.0400 1 1 2 69.6421 9.2578 3.6521 0.0000 0.0058 0.0000 1.0400 2 1 2 75.4958 14.5436 2.7438 0.0000 0.0127 0.0000 1.0400 1 2 2 0.0000 0.0000 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 2 1 0.0000 3.4110 7.7350 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 2 2 2 0.0000 27.9213 5.8635 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 1 3 50.0000 7.2716 7.5000 0.0000 1.1752 0.0000 1.1000 3 1 3 90.0000 45.0000 1.8019 0.0000 1.1752 0.0000 1.1000 1 1 4 66.2781 45.0000 1.6317 0.0000 1.1752 0.0000 1.1880 3 1 4 72.4829 42.5233 1.1601 0.0000 1.1752 0.0000 1.1880 4 1 4 65.7079 45.0000 1.5175 0.0000 1.1752 0.0000 1.1880 2 1 3 65.0942 7.6726 7.0924 0.0000 0.5197 0.0000 1.0500 2 1 4 70.3844 7.6505 7.5000 0.0000 0.5197 0.0000 1.0500 1 2 4 0.0000 0.0019 6.3000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 3 1 90.0000 37.3352 0.9417 0.0000 0.4537 0.0000 1.1000 1 3 3 80.9810 44.1858 0.4091 0.0000 0.4537 0.0000 1.0500 1 3 4 87.4867 24.5154 1.7241 0.0000 0.4537 0.0000 1.2323 3 3 3 90.0000 16.3789 2.2172 0.0000 0.4537 0.0000 1.3765 3 3 4 81.8855 14.7823 5.2059 0.0000 0.4537 0.0000 1.0783 4 3 4 74.9511 45.0000 1.7305 0.0000 0.4537 0.0000 1.0783 1 3 2 82.8420 36.0080 0.8752 0.0000 0.2904 0.0000 1.0500 2 3 3 70.9309 45.0568 7.5000 0.0000 2.0000 0.0000 1.0500 2 3 4 77.8084 44.9886 1.4470 0.0000 0.2904 0.0000 1.0500 2 3 2 79.2872 14.5680 2.0061 0.0000 0.5136 0.0000 1.3652 1 4 1 70.9317 28.2589 1.0494 0.0000 1.7772 0.0000 1.0500 1 4 3 83.9045 41.5971 0.6794 0.0000 1.7772 0.0000 1.0500 1 4 4 86.1097 5.2854 1.0061 0.0000 1.7772 0.0000 1.0500 3 4 3 80.6417 45.0000 1.1167 -30.2047 1.7772 0.0000 1.0500 3 4 4 76.8384 45.0000 1.1304 -0.9193 1.7772 0.0000 1.0500 4 4 4 73.9146 20.6158 3.9104 0.0000 1.7772 0.0000 1.0500 1 4 2 90.0000 43.2350 0.6019 0.0000 0.0780 0.0000 1.0369 2 4 3 84.8524 44.1822 1.7374 0.0000 0.0780 0.0000 1.0369 2 4 4 76.2493 21.4193 2.8527 0.0000 0.0780 0.0000 1.0500 2 4 2 73.8615 5.7677 6.3903 0.0000 0.4957 0.0000 1.2500 1 2 3 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 2 4 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 2 5 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 3 2 3 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 3 2 4 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 4 2 4 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 2 2 3 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 2 2 4 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 1 5 74.4180 33.4273 1.7018 0.1463 0.5000 0.0000 1.6178 1 5 1 79.7037 28.2036 1.7073 0.1463 0.5000 0.0000 1.6453 2 1 5 63.3289 29.4225 2.1326 0.0000 0.5000 0.0000 3.0000 1 5 2 85.9449 38.3109 1.2492 0.0000 0.5000 0.0000 1.1000 1 5 5 85.6645 40.0000 2.9274 0.1463 0.5000 0.0000 1.3830 2 5 2 83.8555 5.1317 0.4377 0.0000 0.5000 0.0000 3.0000 2 5 5 97.0064 32.1121 2.0242 0.0000 0.5000 0.0000 2.8568 6 6 6 71.0490 32.4076 1.2648 0.0000 0.0133 0.0000 1.2899 2 6 6 81.7816 25.1521 4.4682 0.0000 0.0100 0.0000 1.0400 2 6 2 73.3624 30.0601 1.2868 0.0000 2.3010 0.0000 1.0400 3 6 6 90.5172 29.2702 5.9559 0.0000 1.0309 0.0000 2.1516 2 6 3 83.4885 40.0000 2.6002 0.0000 4.0000 0.0000 1.0400 3 6 3 93.3181 40.0000 2.0308 0.0000 1.0656 0.0000 1.0400 6 3 6 95.2899 13.5985 8.0000 0.0000 3.8558 0.0000 1.1714 2 3 6 100.0000 8.3858 8.0000 0.0000 3.9131 0.0000 1.0400 3 3 6 86.5718 22.0158 5.6133 0.0000 3.7500 0.0000 1.0400 2 2 6 0.0000 47.1300 6.0000 0.0000 1.6371 0.0000 1.0400 6 2 6 0.0000 27.4206 6.0000 0.0000 1.6371 0.0000 1.0400 3 2 6 0.0000 7.0550 3.9236 0.0000 1.6371 0.0000 1.0400 2 2 5 0.0000 0.0019 6.0000 0.0000 0.0000 0.0000 1.0400 1 1 6 72.5239 22.3583 2.0393 0.0000 1.0031 0.0000 1.0400 1 6 1 69.1709 18.9268 2.1226 0.0000 1.0031 0.0000 1.0400 6 1 6 68.6453 18.7377 2.0496 0.0000 1.0031 0.0000 1.0400 1 6 6 68.9902 19.7021 2.0587 0.0000 1.0031 0.0000 1.0400 2 1 6 72.6403 13.6964 2.4702 0.0000 1.0000 0.0000 1.0400 1 6 2 71.8708 14.6864 2.4702 0.0000 1.0000 0.0000 1.0400 4 6 6 60.6199 17.7559 1.0576 0.0000 2.1459 0.0000 1.0400 4 6 4 74.1294 20.6494 2.1244 0.0000 0.7689 0.0000 1.0400 3 6 4 57.0650 9.4985 0.3423 0.0000 0.7689 0.0000 1.0400 6 4 6 24.1137 1.7457 0.2198 0.0000 4.1125 0.0000 1.0400 2 6 4 68.7410 15.5851 1.8545 0.0000 0.8613 0.0000 1.0400 2 4 6 80.9040 4.0560 1.2284 0.0000 1.6982 0.0000 1.0400 4 4 6 60.0000 10.0000 0.7500 0.0000 1.0000 0.0000 1.0400 3 4 6 69.8728 32.7155 1.5875 0.0000 2.2466 0.0000 1.0400 4 3 6 69.8728 27.1273 1.5875 0.0000 2.2466 0.0000 1.0400 4 2 6 0.0000 31.0427 4.5625 0.0000 1.6371 0.0000 1.0400 3 11 3 60.4781 11.1095 0.4044 0.0000 1.0000 0.0000 1.5333 11 3 11 24.3810 6.0806 1.0000 0.0000 1.0251 0.0000 1.1000 3 3 11 60.2827 26.3290 0.5226 0.0000 1.0000 0.0000 1.7180 1 3 6 85.8521 12.6881 1.0112 0.0000 1.0000 0.0000 1.3220 1 6 3 71.7524 35.8987 1.5000 0.0000 1.0000 0.0000 1.0487 3 1 6 70.0000 5.0250 1.0000 0.0000 1.0000 0.0000 1.2500 1 2 6 0.0000 2.5000 1.0000 0.0000 1.0000 0.0000 1.2500 24 ! Nr of torsions;at1;at2;at3;at4;;V1;V2;V3;V2(BO);vconj;n.u;n 1 1 1 1 0.0000 48.4194 0.3163 -8.6506 -1.7255 0.0000 0.0000 1 1 1 2 0.0000 63.3484 0.2210 -8.8401 -1.8081 0.0000 0.0000 2 1 1 2 0.0000 45.2741 0.4171 -6.9800 -1.2359 0.0000 0.0000 0 1 2 0 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0 2 2 0 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0 1 3 0 2.0000 15.3127 0.2650 -2.5000 -2.0000 0.0000 0.0000 0 2 3 0 0.0000 0.1000 0.0200 -2.5415 0.0000 0.0000 0.0000 0 3 3 0 0.0002 150.0000 0.0002 -5.3569 0.0000 0.0000 0.0000 0 1 4 0 -1.5263 150.0000 0.2579 -6.0356 -2.0000 0.0000 0.0000 0 2 4 0 0.0000 0.1000 0.0200 -2.5415 0.0000 0.0000 0.0000 0 3 4 0 1.3934 72.0073 -0.2804 -9.0000 -2.0000 0.0000 0.0000 0 4 4 0 -2.0000 24.4048 -0.1617 -3.3327 -2.0000 0.0000 0.0000 0 1 1 0 0.0000 30.3431 0.0002 -9.0000 -1.0000 0.0000 0.0000 4 1 4 4 -2.0000 150.0000 0.0002 -7.2244 -2.0000 0.0000 0.0000 0 1 5 0 4.0885 78.7058 0.1174 -2.1639 0.0000 0.0000 0.0000 0 5 5 0 -0.0170 -56.0786 0.6132 -2.2092 0.0000 0.0000 0.0000 0 2 5 0 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 2 6 6 2 0.0000 0.0000 0.0640 -2.4426 0.0000 0.0000 0.0000 2 6 6 6 0.0000 0.0000 0.1587 -2.4426 0.0000 0.0000 0.0000 0 2 6 0 0.0000 0.0000 0.1200 -2.4847 0.0000 0.0000 0.0000 0 4 6 0 0.0000 0.0000 0.0000 -2.4426 0.0000 0.0000 0.0000 1 1 3 3 -2.0000 73.0530 1.5000 -9.0000 -2.0000 0.0000 0.0000 1 3 3 1 0.0002 80.0000 -1.5000 -2.5000 -2.0000 0.0000 0.0000 3 1 3 3 -1.8835 20.0000 1.5000 -9.0000 -2.0000 0.0000 0.0000 9 ! Nr of hydrogen bonds;at1;at2;at3;Rhb;Dehb;vhb1 3 2 3 1.7135 -3.3318 1.7976 3.0000 3 2 4 2.0000 -6.0000 1.7976 3.0000 4 2 3 1.2000 -2.0000 1.7976 3.0000 4 2 4 1.2979 -6.0000 1.7976 3.0000 3 2 5 1.5000 -2.0000 1.7976 3.0000 4 2 5 1.5000 -2.0000 1.7976 3.0000 5 2 3 1.5000 -2.0000 1.7976 3.0000 5 2 4 1.5000 -2.0000 1.7976 3.0000 5 2 5 1.5000 -2.0000 1.7976 3.0000